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发明名称 ANORDNUNG ZUR BESCHICHTUNG VON SUBSTRATEN MITTELS KATHODENZERSTAEUBUNG.
摘要
申请公布号 CH659484(A5) 申请公布日期 1987.01.30
申请号 CH19840001970 申请日期 1984.04.19
申请人 BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 WEGMANN, URS;RILLE, EDUARD, DR. DIPL.-ING.
分类号 C23C14/36;C23C14/34;C23C14/35;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C14/36
代理机构 代理人
主权项
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