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发明名称
POSITION DETECTING APPARATUS FOR PLATE-SHAPED ARTICLE
摘要
申请公布号
JPS6221649(A)
申请公布日期
1987.01.30
申请号
JP19850156109
申请日期
1985.07.17
申请人
CANON INC
发明人
HIRAGA RYOZO;SATO TERUYA
分类号
H01L21/67;B65H7/14;H01L21/68
主分类号
H01L21/67
代理机构
代理人
主权项
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