发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6222079(A) 申请公布日期 1987.01.30
申请号 JP19850161120 申请日期 1985.07.23
申请人 NIPPON DENSO CO LTD 发明人 KUWATA YOSHIKI
分类号 H01L21/66;G01R31/28;G01R31/3185;H01L21/822;H01L27/04 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
地址