发明名称 TEST APPARATUS FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6222462(A) 申请公布日期 1987.01.30
申请号 JP19850162300 申请日期 1985.07.23
申请人 NEC CORP 发明人 GOTO NAOMICHI
分类号 H01L23/32 主分类号 H01L23/32
代理机构 代理人
主权项
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