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发明名称 HIGH-FREQUENCY ANNEALING METHOD
摘要
申请公布号 JPS6221209(A) 申请公布日期 1987.01.29
申请号 JP19850160690 申请日期 1985.07.19
申请人 NEC CORP 发明人 HAYAMA HIROSHI
分类号 H01L29/78;H01L21/20;H01L21/324;H01L21/336;H01L29/786 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
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