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发明名称 DRYING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6221227(A) 申请公布日期 1987.01.29
申请号 JP19850160232 申请日期 1985.07.22
申请人 HITACHI TOKYO ELECTRON CO LTD;HITACHI LTD 发明人 MIZOGAMI KAZUAKI;KOBAYASHI SEIICHIRO;NANKO SUSUMU
分类号 F26B11/18;H01L21/304 主分类号 F26B11/18
代理机构 代理人
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