发明名称
摘要
申请公布号 JPS6214720(U) 申请公布日期 1987.01.29
申请号 JP19850106426U 申请日期 1985.07.11
申请人 发明人
分类号 H01L21/205;C30B25/14;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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