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发明名称 LIGHT-EXPOSING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6221222(A) 申请公布日期 1987.01.29
申请号 JP19850160508 申请日期 1985.07.19
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 OGAWA KAZUFUMI
分类号 H01L21/30;G03F7/20;G03F9/00;H01L21/027 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
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