发明名称 OPTICAL CVD DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6220872(A) 申请公布日期 1987.01.29
申请号 JP19850159632 申请日期 1985.07.19
申请人 OAK SEISAKUSHO:KK 发明人 YOSHIDA YUSUKE;KINOSHITA SHOICHI
分类号 C23C16/48 主分类号 C23C16/48
代理机构 代理人
主权项
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