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发明名称
PROJECTING AND IMAGE-FORMING DEVICE FOR SOFT X-RAYS
摘要
申请公布号
JPS6221223(A)
申请公布日期
1987.01.29
申请号
JP19850160785
申请日期
1985.07.19
申请人
SHIMADZU CORP
发明人
MAKABE HIDEKI;IWAHASHI KENJI
分类号
G03F7/20;G21K1/06;H01L21/027
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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