发明名称 PROJECTING AND IMAGE-FORMING DEVICE FOR SOFT X-RAYS
摘要
申请公布号 JPS6221223(A) 申请公布日期 1987.01.29
申请号 JP19850160785 申请日期 1985.07.19
申请人 SHIMADZU CORP 发明人 MAKABE HIDEKI;IWAHASHI KENJI
分类号 G03F7/20;G21K1/06;H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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