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发明名称 STRIPPING COMPOSITIONS AND METHODS OF STRIPPING RESISTS
摘要
申请公布号 EP0103808(B1) 申请公布日期 1987.01.28
申请号 EP19830108772 申请日期 1983.09.06
申请人 J.T. BAKER CHEMICAL CO. 发明人 WARD, IRL EUGENE, JR.;HALLQUIST, LISA GAIL
分类号 H01L21/30;C11D7/26;C11D7/32;C11D7/50;G03F7/42;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/26 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
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