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发明名称 SURFACE INSPECTION DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6219752(A) 申请公布日期 1987.01.28
申请号 JP19860157147 申请日期 1986.07.03
申请人 THYSSEN IND AG 发明人 KURAISUKOOTO HAINTSU
分类号 G01N27/82;G01N27/90;G01N29/26 主分类号 G01N27/82
代理机构 代理人
主权项
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