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经营范围
发明名称
CARRIER JIG CLEANING DEVICE
摘要
申请公布号
JPS6220325(A)
申请公布日期
1987.01.28
申请号
JP19850158161
申请日期
1985.07.19
申请人
HITACHI LTD
发明人
MIMATA TSUTOMU;ABE YOSHIYUKI
分类号
B08B7/04;H01L21/304
主分类号
B08B7/04
代理机构
代理人
主权项
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