用于脆性材料制成的电容传感器的电路

摘要

传感器电路系统感测各传感器部分中电容的变化，每一部分有一单独的板将根据压力的变化而挠曲，以提供与作用在传感器部分上的压力有关的输出。如图所示，传感器部分充满液体并在液体中互相连通，使得一块板的绕曲可引起另一传感器部分的板向反方向绕曲。温度引起的介电系数和充满传感器部分的液体密度的变化可在电路中得到补偿，因此，从电容器中输出的电压或电流精确地表示传感器的电容值。

主权项

1、一种压差传感器装置包括第一和第二个传感器部分，每一个部分有一块相对于传感器表面安装的单独的挠曲膜板，它能相对这个表面挠曲以形成一个单独的内部腔室；用液体互相连通内部腔室的装置，室内和所说装置中充满一定量的不可压缩的液体，腔室和所说装置用液体连接以相对于传感器表面弯曲膜板，当膜板向一个方向运动来缩小与它有关联的内部腔室体积时导致另一块膜板向增加与它有关联的内部腔室的体积方向运动，各个膜板和传感器表面间分别形成第一个和第二个感测电容器的装置，这些电容器在相反的方向变化，从这样一个压力传感器装置中提供一输出信号的装置，此信号表示作用在这个压力传感器装置中传感器元件膜板上的压差变化，用于感测传感器中第一个和第二个传感电容器的电容值的装置；其特征在于：各挠曲膜板开始时实际上与各自的表面接近，以及与这传感器装置相联的装置，来提供一个信号F1它代表充入到这个压力传感器装置的内部腔室中不可压缩液体的密度变化，此装置也与提供信号F2的感测装置相连接，而信号F2则是这个压力传感器装置的第一个和第二个电容器电容值的函数，因此，也就是传感器元件上的压差的函数。当感测的压差实际上为零时，则信号F2实际上也为零，此装置将信号F1和F2相乘作为输出信号。