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发明名称 INTEGRATED PRESSURE SENSOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPS6220379(A) 申请公布日期 1987.01.28
申请号 JP19850158096 申请日期 1985.07.19
申请人 SHINDENGEN ELECTRIC MFG CO LTD 发明人 WATANABE HARUO;KAWAGUCHI AKIMITSU
分类号 H01L29/84;G01L9/00;G01L9/04 主分类号 H01L29/84
代理机构 代理人
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