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发明名称 CHARGED PARTICLE APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS6220300(A) 申请公布日期 1987.01.28
申请号 JP19850158086 申请日期 1985.07.19
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 UEDA TAKATOSHI;MIZOTA MANABU;NARUKAWA TAKEFUMI;NAKAMURA SHIRO
分类号 H05H13/04 主分类号 H05H13/04
代理机构 代理人
主权项
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