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发明名称
OBJEKTIV ZUR PRUEFUNG EINES LATERAL- SHEARINGINTERFEROMETERS ZUR MIKROOBJEKTIVPRUEFUNG
摘要
申请公布号
DD206222(B1)
申请公布日期
1987.01.28
申请号
DD19820241219
申请日期
1982.06.30
申请人
GROSSMANN,WILFRIED,DD;FREITAG,WOLFGANG,DD;SCHAEFER,UDO,DD
发明人
GROSSMANN,WILFRIED,DD;FREITAG,WOLFGANG,DD;SCHAEFER,UDO,DD
分类号
G01M11/00;(IPC1-7):G01M11/00
主分类号
G01M11/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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