| 发明名称 |
IMAGE DETECTING METHOD FOR SCANNING TYPE ELECTRON MICROSCOPE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPS6220228(A) |
申请公布日期 |
1987.01.28 |
| 申请号 |
JP19850158109 |
申请日期 |
1985.07.19 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
YOSHIMURA KAZUSHI;HAMADA TOSHIMITSU |
| 分类号 |
H01J37/22;G01B15/00;H01J37/28 |
主分类号 |
H01J37/22 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
