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经营范围
发明名称
SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURING EQUIPMENT
摘要
申请公布号
JPS6218020(A)
申请公布日期
1987.01.27
申请号
JP19850157459
申请日期
1985.07.17
申请人
NEC CORP
发明人
TSURUTA HIROKI
分类号
H01L21/265;H01J37/317
主分类号
H01L21/265
代理机构
代理人
主权项
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