ION ETCHING EQUIPMENT,申请号JP19850156116-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	ION ETCHING EQUIPMENT
摘要
申请公布号	JPS6218033(A)	申请公布日期	1987.01.27
申请号	JP19850156116	申请日期	1985.07.17
申请人	CANON INC	发明人	YOSHIKAWA TOSHIAKI
分类号	H01L21/302;C23F1/08;C23F4/00	主分类号	H01L21/302
代理机构		代理人
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