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发明名称
SEMICONDUCTOR INSPECTING DEVICE
摘要
申请公布号
JPS6218726(A)
申请公布日期
1987.01.27
申请号
JP19850158612
申请日期
1985.07.17
申请人
NEC CORP
发明人
YOSHIMURA KATSUNOBU
分类号
H01L21/66
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
地址
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