发明名称 METHOD FOR PREVENTING MIGRATION IN SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6218023(A) 申请公布日期 1987.01.27
申请号 JP19850157437 申请日期 1985.07.16
申请人 FUJITSU LTD 发明人 UCHIDA YOSHIO;TAKASAKI KANETAKE;TSUKUNE ATSUHIRO;FURUMURA YUJI;TAKAGI MIKIO
分类号 H01L21/768;H01L21/28 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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