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发明名称
ION SOURCE
摘要
申请公布号
JPS6217935(A)
申请公布日期
1987.01.26
申请号
JP19850156570
申请日期
1985.07.15
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
ONO KOICHI;OMORI TATSUO;FUJITA SHIGETO
分类号
H01J27/02;H01J37/08
主分类号
H01J27/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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