发明名称 GROWTH METHOD FOR THIN FILM CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPS6217093(A) 申请公布日期 1987.01.26
申请号 JP19850154503 申请日期 1985.07.13
申请人 AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL 发明人 SAKAMOTO SUMINORI;OOTA KIMIHIRO;KAWAI NAOYUKI;NAKAGAWA ITARU;KOJIMA TAKESHI
分类号 C30B1/02;C30B23/02;C30B23/08;C30B25/02;C30B29/06;H01L21/203;H01L21/324 主分类号 C30B1/02
代理机构 代理人
主权项
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