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经营范围
发明名称
GROWTH METHOD FOR THIN FILM CRYSTAL
摘要
申请公布号
JPS6217093(A)
申请公布日期
1987.01.26
申请号
JP19850154503
申请日期
1985.07.13
申请人
AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL
发明人
SAKAMOTO SUMINORI;OOTA KIMIHIRO;KAWAI NAOYUKI;NAKAGAWA ITARU;KOJIMA TAKESHI
分类号
C30B1/02;C30B23/02;C30B23/08;C30B25/02;C30B29/06;H01L21/203;H01L21/324
主分类号
C30B1/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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