发明名称 VACUUM EVAPORATION DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6217046(A) 申请公布日期 1987.01.26
申请号 JP19850153889 申请日期 1985.07.12
申请人 NEC CORP 发明人 SUZUI KEISUKE
分类号 C03C17/09;C03C17/245;C23C14/54 主分类号 C03C17/09
代理机构 代理人
主权项
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