发明名称 DEVICE FOR POSITIONING ROTATION OF SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 JPS6217811(A) 申请公布日期 1987.01.26
申请号 JP19850157458 申请日期 1985.07.17
申请人 NEC CORP 发明人 KOJIMA KAZUMI
分类号 H01L21/68;G05D3/00;G05D3/12;H01L21/67 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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