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经营范围
发明名称
VAPOR GROWTH DEVICE FOR SEMICONDUCTOR THIN FILM
摘要
申请公布号
JPS6217098(A)
申请公布日期
1987.01.26
申请号
JP19850153273
申请日期
1985.07.11
申请人
FURUKAWA ELECTRIC CO LTD:THE
发明人
IKEDA MASAKIYO;KASHIYANAGI YUZO
分类号
C30B25/14;H01L21/205
主分类号
C30B25/14
代理机构
代理人
主权项
地址
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