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发明名称 ION PROCESSOR
摘要
申请公布号 JPS6215743(A) 申请公布日期 1987.01.24
申请号 JP19850154970 申请日期 1985.07.12
申请人 NISSIN ELECTRIC CO LTD 发明人 SASAMURA YOSHITAKA;TSUCHIYA NOBORU
分类号 H01J37/317;H01J37/305;H01L21/265;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
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