发明名称 SELECTIVE GROWING METHOD FOR OXIDE FILM
摘要
申请公布号 JPS6215836(A) 申请公布日期 1987.01.24
申请号 JP19850154828 申请日期 1985.07.12
申请人 FUJITSU LTD 发明人 FURUMURA YUJI;MIENO FUMITAKE;TOKI MASAHIKO;ITO KIKUO;TAKEDA MASAYUKI
分类号 H01L21/3205;H01L21/31 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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