发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR ION BEAM MACHINING
摘要
申请公布号 JPS6215833(A) 申请公布日期 1987.01.24
申请号 JP19850153996 申请日期 1985.07.15
申请人 HITACHI LTD 发明人 HARAICHI SATOSHI;SHIMASE AKIRA;YAMAGUCHI HIROSHI;MIYAUCHI TAKEOKI
分类号 H01L21/3213 主分类号 H01L21/3213
代理机构 代理人
主权项
地址