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经营范围
发明名称
METHOD AND APPARATUS FOR ION BEAM MACHINING
摘要
申请公布号
JPS6215833(A)
申请公布日期
1987.01.24
申请号
JP19850153996
申请日期
1985.07.15
申请人
HITACHI LTD
发明人
HARAICHI SATOSHI;SHIMASE AKIRA;YAMAGUCHI HIROSHI;MIYAUCHI TAKEOKI
分类号
H01L21/3213
主分类号
H01L21/3213
代理机构
代理人
主权项
地址
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