| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6216558(A) |
申请公布日期 |
1987.01.24 |
| 申请号 |
JP19850155457 |
申请日期 |
1985.07.15 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRONICS CORP |
发明人 |
UCHIDA HIROBUMI |
| 分类号 |
H01L27/092;H01L21/8234;H01L21/8238;H01L21/8249;H01L27/06;H01L27/08;H01L27/088 |
主分类号 |
H01L27/092 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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