发明名称 SURFACE INSPECTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6214039(A) 申请公布日期 1987.01.22
申请号 JP19850151420 申请日期 1985.07.11
申请人 HITACHI ELECTRONICS ENG CO LTD 发明人 HOURAI IZUO;HONDA MASASHI
分类号 G01N21/88;G01B11/30;G01N21/95;G01N21/956 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
主权项
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