| 发明名称 |
IMPLANTATION OF VAPORIZED MATERIAL ON MELTED SUBSTRATES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE3175704(D1) |
申请公布日期 |
1987.01.22 |
| 申请号 |
DE19813175704 |
申请日期 |
1981.05.01 |
| 申请人 |
WESTERN ELECTRIC COMPANY, INCORPORATED |
发明人 |
SILFVAST, WILLIAM THOMAS |
| 分类号 |
H01L21/203;C23C14/02;C23C14/28;C23C14/48;C23C26/00;C30B1/02;C30B31/22;H01L21/20;H01L21/223;H01L21/26;H01L21/268 |
主分类号 |
H01L21/203 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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