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发明名称
摘要
申请公布号 JP3303219(B2) 申请公布日期 2002.07.15
申请号 JP19930288808 申请日期 1993.10.26
申请人 发明人
分类号 C23C16/44;C03C17/00;C23C16/04;C23C16/455;C23C16/50;C23C16/511;C23C16/515;(IPC1-7):C23C16/44 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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