发明名称 AIR COOLING TYPE TURBO-MOLECULAR PUMP
摘要
申请公布号 JPS6213796(A) 申请公布日期 1987.01.22
申请号 JP19850152762 申请日期 1985.07.10
申请人 SHIMADZU CORP;HITACHI LTD 发明人 KAWAGUCHI JUICHI;NARITA KIYOSHI;NISHIKAWA HIDETO;FURUICHI YASUTAKA;TAMURA NAOYUKI;YAMAMOTO HIDEYUKI
分类号 F04D19/04 主分类号 F04D19/04
代理机构 代理人
主权项
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