| 主权项 |
1.一种以实质坚硬材料形成之弯度支架,包含: 四个延伸柱,间隔配置且至少实质相互平行,各延 伸柱具有第一与第二端; 四个第一横跨构件,其配置使得各第一横跨构件延 伸并互连在延伸柱的两个第一端之间; 四个第二横跨构件,其配置使得各第二横跨构件延 伸并互连在延伸柱的两个第二端之间; 平移片段,配置在延伸柱之间的空间内且互连至其 上,延伸在第一端与第二端之间是实质等距;及 数个弯度,至少一个弯度互连各延伸柱的各第一端 至各第一横跨构件,至少一个弯度互连各延伸柱的 各第二端至各第二横跨构件,且各至少一个弯度使 各延伸柱与平移片段互连。2.如申请专利范围第1 项之弯度支架,另包含: 一对互连各延伸柱至平移片段之弯度,各对中之一 个弯度是配置邻接各延伸柱上之平移片段且更接 近第一端,各对中之一个弯度是配置邻接各延伸柱 上之平移片段且更接近第二端。3.如申请专利范 围第2项之弯度支架,其中各弯度包含: 第一对的对置狭缝,横向地形成且相对延伸进入延 伸柱之一中; 第一实质坚硬材料腹片,留在第一对的狭缝之间; 第二对的对置狭缝,其与第一对的狭缝间隔开于同 一延伸柱上,横向地形成且相对延伸;及 第二实质坚硬材料腹片,留在第二对的狭缝之间, 其中第一腹片与第二腹片是相互垂直配置且沿着 同一延伸柱间隔开。4.如申请专利范围第1项之弯 度支架,其中各弯度包含: 第一对的对置狭缝,横向地形成且相对延伸进入延 伸柱之一中; 第一实质坚硬材料腹片,留在第一对的狭缝之间; 第二对的对置狭缝,其与第一对的狭缝间隔开于同 一延伸柱上,横向地形成且相对延伸;及 第二实质坚硬材料腹片,留在第二对的狭缝之间, 其中第一腹片与第二腹片是相互垂直配置且沿着 同一延伸柱间隔开。5.如申请专利范围第1项之弯 度支架,另包含: 第一压电组装,用于仅沿着大致垂直于延伸柱之第 一直线路径而移动平移片段;及 第二压电组装,用于仅沿着大致垂直于延伸柱与第 一直线路径之第二直线路径而移动平移片段。6. 如申请专利范围第5项之弯度支架,其中各压电组 装另包含: 中央连接件,以实质坚硬材料形成且具有连接至平 移片段的一部分之坚硬片段; 至少一弯度,连接至坚硬片段;及 第一与第二压电元件,第一压电元件自至少一弯度 朝向延伸柱的第一端延伸,且第二压电元件自至少 一弯度朝向延伸柱的第二端延伸。7.如申请专利 范围第6项之弯度支架,另包含: 一对弯度,连接至坚硬片段,此对弯度之一互连第 一压电元件与坚硬片段,且此对弯度之另一互连第 二压电元件与坚硬片段。8.如申请专利范围第7项 之弯度支架,其中至少一弯度另包含: 第一对的对置狭缝,横向地形成于中央连接件的一 部分中,且相对延伸; 第一实质坚硬材料腹片,留在第一对的狭缝之间; 第二对的对置狭缝,其与第一对的狭缝间隔开在同 一中央连接件上,横向地形成且相对延伸;及 第二实质坚硬材料腹片,留在第二对的狭缝之间, 其中第一腹片与第二腹片是相互垂直配置且沿着 同一延伸柱间隔开。9.如申请专利范围第7项之弯 度支架,其中此对弯度中之各一另包含: 第一对的对置狭缝,横向地形成于中央连接件的一 部分中,且相对延伸; 第一实质坚硬材料腹片,留在第一对的狭缝之间; 第二对的对置狭缝,其与第一对的狭缝间隔开在同 一中央连接件上,横向形成且相对延伸;及 第二实质坚硬材料腹片,留在第二对的狭缝之间, 其中第一腹片与第二腹片是相互垂直配置且沿着 同一延伸柱间隔开。10.如申请专利范围第1项之弯 度支架,其中四个延伸柱、四个第一横跨构件、四 个第二横跨构件、平移片段、及数个弯度是各以 相同的实质坚硬材料相互整体地形成如单一给构 体。11.如申请专利范围第1项之弯度支架,其中各 弯度是配置在四个延伸柱上。12.如申请专利范围 第1项之弯度支架,其中平移片段是连接至各延伸 柱上之至少一弯度。13.如申请专利范围第1项之弯 度支架,另包含: 配置在各延伸柱的名第一端上之弯度,各延伸柱是 整体地连接至两个邻接的第一横跨构件的端。14. 如申请专利范围第1项之弯度支架,另包含: 配置在各延伸柱的各第二端上之弯度,各延伸柱是 整体地连接至两个邻接的第二横跨构件的端。15. 如申请专利范围第1项之弯度支架,另包含: 配置在至少一对邻接延伸柱之间且互连于其上之 加劲梁,一个加劲梁接近各第一端且至少一个加劲 梁接近各地二端。16.如申请专利范围第1项之弯度 支架,另包含: 配置在至少一对邻接延伸柱之间且配置更接近平 移片段之加劲梁,此邻接延伸柱位于各第一端与平 移片段之间;及 配置在各第二端与上移片段之间且配置更接近平 移片段之加劲梁。17.如申请专利范围第1项之弯度 支架,其中实质坚硬材料是不锈钢。18.一种弯度组 装,用于产生平面上之微定位移动及防止垂直于此 平面的方向上之移动,该弯度组装包含: 四个延伸柱,间隔开且相互平行配置 四个第一横跨构件,配置以延伸且互连至各延伸柱 的第一端之间; 四个第二横跨构件,配置以延伸且互连至各延伸柱 的第二端之间; 平移片段,等距配置于延伸柱的第一端与第二端之 间且互连至其上; 数个弯度,一个弯度互连各延伸柱的各第一端至各 第一横跨构件,一个弯度互连各延伸柱的各第二端 至各第二横跨构件,且至少一弯度与平移片段互连 ; 第一压电组装,其连接至平移片段且架构以仅沿着 大致垂直于延伸构件之第一直线路径移动平移片 段;及 第二压电组装,其连接至平移片段且架构以仅沿着 大致垂直于延伸构件与第一直线路径之第二直线 路径移动平移片段。19.如申请专利范围第18项之 弯度组装,其中各压电组装另包含: 中央连接件,以实质坚硬材料形成且具有连接至平 移片段的一部分之坚硬片段; 至少一弯度,连接至坚硬片段;及 第一与第二压电元件,第一压电元件自至少一弯度 朝向延伸柱的第一端延伸,且第二压电元件自至少 一弯度朝向延伸柱的第二端延伸。20.如申请专利 范围第19项之弯度组装,另包含: 一对弯度,连接至坚硬片段,此对弯度之一互连第 一压电元件与坚硬片段,且此对弯度之另一互连第 二压电元件与坚硬片段。21.一种高解析度量测装 置,包含: 量测仪器; 支撑结构;及 弯度组装,具有支撑用于与其移动之量测仪器之可 移动支架; 其中弯度组装另包含: 四个延伸柱,间隔开且相互平行配置; 四个第一横跨构件,配置以延伸且互连至各延伸柱 的第一端之间; 四个第二横跨构件,配置以延伸且互连至各延伸柱 的第二端之间; 平移片段,等距配置于延伸柱的第一端与第二端之 间且互连至其上; 数个弯度,一个弯度互连各延伸柱的各第一端至各 第一横跨构件,一个弯度互连各延伸柱的各第二端 至各第二横跨构件,且至少一弯度与平移片段互连 ; 第一压电组装,其连接至平移片段且架构以仅沿着 大致垂直于延伸构件之第一直线路径移动平移片 段;及 第二压电组装,其连接至平移片段且架构以仅沿着 大致垂直于延伸构件与第一直线路径之第二直线 路径移动平移片段。图式简单说明: 图1解说依据本发明的一个实施例所架构之弯度组 装之透视图。 图2A解说图1所示之弯度组装的弯度支架组装之透 视图。 图2B解说图2A所示之弯度组装的弯度支架之透视图 。 图3解说随意设定作为侧部之弯度支架的一侧的平 面图。 图4解说随意设定做为背部且在垂直轴Z上旋转90度 之图3所示之弯度支架的另一侧之透视图。 图5解说图3的圆圈V所示之弯度支架的弯度之放大 图。 图6解说图4的圆圈VI所示之弯度支架的弯度之放大 图。 图7是弯度支架的一部分之截面图,解说弯度支架 于实线之静止位置及虚线之变形位置。 图8是弯度支架的另一部分之截面侧视图。 |
