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经营范围
发明名称
CLEANING METHOD
摘要
申请公布号
JPS6212132(A)
申请公布日期
1987.01.21
申请号
JP19850149885
申请日期
1985.07.10
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
YONEDA SUMIICHI
分类号
B08B3/02;H01L21/304
主分类号
B08B3/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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