发明名称 PRODUCTION OF SILICON CARBIDE SINGLE CRYSTAL FILM
摘要
申请公布号 JPS6212698(A) 申请公布日期 1987.01.21
申请号 JP19850150417 申请日期 1985.07.08
申请人 NEC CORP 发明人 MIYAMOTO HARUHIKO
分类号 C30B25/02;C30B29/36 主分类号 C30B25/02
代理机构 代理人
主权项
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