发明名称 |
MOLECULAR BEAM EPITAXIAL GROWTH METHOD |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPS6212119(A) |
申请公布日期 |
1987.01.21 |
申请号 |
JP19850151705 |
申请日期 |
1985.07.09 |
申请人 |
SHARP CORP |
发明人 |
KINOSADA TOSHIAKI;YAMASHITA TATSUYA;TOMITA KOJI |
分类号 |
H01L29/812;H01L21/203;H01L21/26;H01L21/338;H01L29/80 |
主分类号 |
H01L29/812 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|