发明名称 MOLECULAR BEAM EPITAXIAL GROWTH METHOD
摘要
申请公布号 JPS6212119(A) 申请公布日期 1987.01.21
申请号 JP19850151705 申请日期 1985.07.09
申请人 SHARP CORP 发明人 KINOSADA TOSHIAKI;YAMASHITA TATSUYA;TOMITA KOJI
分类号 H01L29/812;H01L21/203;H01L21/26;H01L21/338;H01L29/80 主分类号 H01L29/812
代理机构 代理人
主权项
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