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发明名称
PARALLEL SCANNER
摘要
申请公布号
JPS6212041(A)
申请公布日期
1987.01.21
申请号
JP19850151107
申请日期
1985.07.09
申请人
NEC KYUSHU LTD
发明人
NAKAMURA MASATOSHI
分类号
H01J37/147;H01J37/30;H01L21/265
主分类号
H01J37/147
代理机构
代理人
主权项
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