发明名称 ASSEMBLY DEVICE FOR SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPS6212139(A) 申请公布日期 1987.01.21
申请号 JP19850151103 申请日期 1985.07.09
申请人 NEC KYUSHU LTD 发明人 SUGITA TETSUO
分类号 H01L21/52;H01L21/58 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
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