平版印刷光罩基底

摘要

一种被使用作为制造平版印刷光罩材料之平版印刷光罩基底，其中于基板上至少具有一层具有所希望之机能的平版印刷光罩基底中，前述基底系具有作为前述薄膜之含有氮的薄膜，与形成于前述含有氮之薄膜上、或至少于前述含有氮之薄膜的表面部分上，在制造前述平版印刷光罩时防止于表面曝光之铵离子生成的铵离子生成防止层。