发明名称 APPARATUS FOR HEATING IC
摘要
申请公布号 JPS6211182(A) 申请公布日期 1987.01.20
申请号 JP19850145759 申请日期 1985.07.04
申请人 HITACHI ELECTRONICS ENG CO LTD 发明人 KASAI SHINICHI;HIROKAWA HIDEO
分类号 H01L21/66;G01R31/30 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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