| 发明名称 |
VACUUM EVAPORATION DEVICE AND PRODUCTION OF THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6210269(A) |
申请公布日期 |
1987.01.19 |
| 申请号 |
JP19850149289 |
申请日期 |
1985.07.09 |
| 申请人 |
ASAHI GLASS CO LTD |
发明人 |
SUZUKI KOICHI;TADA MASASHI;TAKAGI SATORU |
| 分类号 |
C23C14/08;C23C14/32;H01B13/00 |
主分类号 |
C23C14/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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