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发明名称
摘要
申请公布号
JPS628660(U)
申请公布日期
1987.01.19
申请号
JP19850100637U
申请日期
1985.07.02
申请人
发明人
分类号
F23Q3/00;H01L41/08;H01L41/113;(IPC1-7):H01L41/08
主分类号
F23Q3/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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