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发明名称 METHOD FOR CLEANING PHOSPHORUS OF PLASMA IMPLANT
摘要
申请公布号 KR20050060178(A) 申请公布日期 2005.06.22
申请号 KR20030091718 申请日期 2003.12.16
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 KIM, YOUNG JIN;KIM, JIN KUK;SHIN, WON SIK;AHN, BYUNG HO;LEE, JAE CHUL;HWANG, KI HYUN
分类号 H01L21/3065;B08B7/00;C23C14/56;C23F1/00;H01J37/32;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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