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发明名称 ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPS629633(A) 申请公布日期 1987.01.17
申请号 JP19850148296 申请日期 1985.07.08
申请人 HITACHI LTD;SHOWA DENKO KK 发明人 KURE TOKUO;KAWAMOTO YOSHIFUMI;TAKAICHI AKIRA
分类号 H01L21/302;C23F1/00;C23F4/00;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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