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发明名称 HANDLER FOR CARRYING WAFER
摘要
申请公布号 JPS629881(A) 申请公布日期 1987.01.17
申请号 JP19850146611 申请日期 1985.07.05
申请人 CANON INC 发明人 IMAI SHUNZO;DEGUCHI SHINKICHI
分类号 B25J9/00;B25J9/06;H01L21/67;H01L21/677;H01L21/68 主分类号 B25J9/00
代理机构 代理人
主权项
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