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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPS629644(A) 申请公布日期 1987.01.17
申请号 JP19850148902 申请日期 1985.07.05
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 TAMAOKI NORIHIKO;KUBOTA MASABUMI;NOMURA NOBORU;TAKEMOTO TOYOKI
分类号 H01L21/762;H01L21/265;H01L21/76 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
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