发明名称 Method for Processing a Semiconductor Wafer Including Back Side Grinding
摘要
申请公布号 KR100572556(B1) 申请公布日期 2006.04.24
申请号 KR20030059883 申请日期 2003.08.28
申请人 发明人
分类号 B24B1/00;B24B37/00;H01L21/301;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/46;H01L21/78 主分类号 B24B1/00
代理机构 代理人
主权项
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